格罗方德成都项目明年3月底完工 将填补西南地区空白

央广网 2017/4/12 12:35:00

施工现场

央广网成都4月12日消息(记者刘涛)央广网记者从成都高新区获悉,位于成都高新区西部园区的格罗方德晶圆代工厂已完成100%土石方工程和50%以上桩基工程,将于明年3月前完成项目建设。该项目建成投产后,将填补中国西南地区12英寸先进工艺晶圆生产项目的空白。

8台打桩机一字排开、齐头并进;十余台挖掘机保持队形,高效挖运……日前,记者来到项目现场时,展现在眼前的就是这样一幅热火朝天的建设场景。自3月初项目实质施工以来,20万平方米的主生产厂房范围内,土石方开挖已完成100%,桩基施工完成50%以上。

据悉,这家代号为“Fab11”的晶圆代工厂,是格罗方德在全球的第11家晶圆代工厂,也是中国西南地区首条12英寸晶圆生产线,建成后将成为世界上标准最高、体量最大的晶圆代工厂之一。

Fab11建设方成都建工集团的项目负责人袁明介绍,现场将通过推行“5+2”、“白+黑”的施工方式,增配管理人员及机具设备,加倍资金投入等方式以确保明年3月完成建设。本项目仅管理团队就有近400人,“到了建设高峰期,预计会有六七千人同时在现场施工。”

除规模大外,项目还对建设技术有相当高的要求。晶圆是最常用的半导体材料,晶圆越大,同一圆片上可生产的IC芯片就越多,对材料技术和生产技术的要求也更高。22FDX?22nm FD-SOI工艺是格罗方德最为先进的技术之一,对厂房也有更高的要求。

Fab11厂区按BOD(基础设计)规划,共有16类建筑与构筑物,包括生产调度及研发厂房、芯片厂房、动力站、化学品供应站和地下雨水蓄水池等。其中动力站、危险品库、大宗气体站等建筑都是其他传统工业厂房中罕见的。

“我们不仅要为格罗方德生产线建设一个生产空间,更要建设一个完整的生产系统。就好像一个人,除了躯干之外还要有血管、神经系统等。”成都建工集团项目经营经理王霞表示,Fab11成都工厂有大量常规工业厂房未涉及的制程工艺和标准考量,包括离子注入、光刻胶、封装、处理器等17个工艺环节。

与常规的厂房项目相比,该项目最大的难点就在于复杂的生产系统,在几十万平方米的空间内,囊括了动力系统、特殊气体站、超纯水系统等复杂体系,并要在建设中同步完成。项目采用世界一流的自动化技术,建设自动化物料运送系统、厂务管理系统、数据分析系统等,打造智能电子厂房,实现全自动化的晶圆制造。

值得关注的是,晶圆生产必须在洁净环境下进行,Fab11项目将打造6.5万平方米的晶圆生产洁净室,洁净等级为100级。王霞向记者介绍,一般的医院手术室是10000级,开胸手术的手术室是1000级,脑外科、心脏外科用的手术室能够达到100级。手术室的面积只有几十平方米,晶圆厂房则要保证6.5万平方米的空间都保持100的洁净度,局部房间达到1级标准。

1级标准是什么概念呢?即每立方英尺的空气中0.5微米或稍大些的微尘数量不超过1个,而人的头发丝直径为80微米,即在每立方英尺的空气中相当于1/160根头发丝粗细的微尘数量不超过1个。

“从工厂规模到技术标准,Fab11工厂都堪称世界一流的晶圆代工,我们将以专业的态度,发挥创新精神,高标准高效率完成项目建设。”袁明表示从项目各项手续咨询到审批,都得到了成都高新区相关部门的大力支持,“成都高新区高效、专业的办事作风深深触动了我们。我们也会秉承这种高效、专业的精神,加快推进项目建设”。

对格罗方德项目的支持,成都高新区并不止步于提高审批效率。为了全力保障格罗方德成都项目推进,今年3月,成都高新区成立了格罗方德项目指挥部,下设办公室、建设组、商务组、保障组,从项目建设推进、相关手续完善、环保审批督促等方面,明确分工任务、完善督查机制,为项目推进提供更专业、细致、全面的保障。

成都高新区相关负责人表示,格罗方德成都项目契合《国家集成电路产业发展推进纲要》,填补了中国西南地区12英寸先进工艺晶圆生产项目的空白,成都高新区将不遗余力地推进Fab11建设,助推成都打造全球知名的集成电路产业基地。

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